半導体製造装置のインテリジェンス化を加速

 産業規格認証とライフサイクル管理

SEMI S2安全規格やSECS/GEMプロトコルへの準拠に加え、厳格なファブレベルの品質管理を満たすため、ハードウェア供給において「コピー・エグザクト」を徹底したサプライチェーン管理ソリューションを提供します。

 AIと高性能コンピューティング

画像認識、欠陥検出、AI推論、3D画像再構成をリアルタイムに高速化する高性能コンピューティングを提供します。さらに、大容量データの高速転送、ストレージ、データロギングにも対応し、システムの安定運用を支えます。

 高速I/Oとリアルタイム制御

SoftPLCとマイクロ秒単位の高速EtherCATを統合し、125μsから1msという極めて確実な決定論的制御サイクルを実現し、センサデータと多軸モーションの完全同期を可能にします。

 ウェーハ前工程装置

• リアルタイム・データ収集
• 決定論的制御
• 低遅延処理

検査・計測

• AIビジョンシステム
• 高速画像処理
• 欠陥分類

 先端パッケージング

•  柔軟な生産ライン
• AI駆動の最適化
• エッジ統合

 エッジサーバ＆

GPUコンピューティング

• 高性能エッジコンピューティング
• 拡張可能なAI×IoTインフラ
• エッジ・ツー・クラウド接続

 エッジコンピュータ＆

マシンビジョン

• AI搭載ビジョンシステム
• 高速画像処理
• 高度な欠陥分類

 SoftPLC制御＆

HMI

• 柔軟な生産ライン
• AI駆動の最適化
• エッジ統合

 データ収集＆

コネクティビティ

• リアルタイム追跡・トラッキング
• システム統合
• 予兆保全・最適運用

 AI駆動による予兆保全



状態監視およびAIベースの予兆保全を可能にし、装置の稼働率を最大限に高めるとともに、予期せぬサービスの中断・停止を削減します。

 スマートファクトリー統合

エッジコンピューティング、産業用ネットワーク接続、自動化プラットフォームの統合により、将来の拡張を見据えた、シームレスにつながる次世代の半導体製造環境を構築します。

 AI駆動によるプロセス最適化



 リアルタイムのデータ収集、AI推論、決定論的制御を通じてプロセス最適化を加速し、精密製造を実現します。